当社は、様々な構成が柔軟に設定可能なプロセスツールと共に、最先端のマイクロ構造やナノ構造において、正確で再現性のあるプロセスを提供しています。当社のシステムは、ナノメートルサイズ形状のエッチング、ナノレイヤーの成膜及び、ナノ構造に制御された成長プロセスソリューションを提供します。

これらのソリューションは、プラズマCVD及びエッチング、イオンビーム成膜及びエッチング、ALD、シリコン深堀エッチング及びPVDにおけるコア技術に基づいております。

当社製品は、研究開発用のコンパクトなスタンドアローンシステムから、バッチ式、カセット式クラスタープラットフォームまで、ハイスループットの生産処理に対応しています。

お問合せ

物理学会の為、説明員が2人九州大学に行ったのですが、大盛況過ぎて弊社の事業部長の所に列はできてしまうし、もう一人は、お客様を裁く事でいっぱいとなり、写真が撮っている暇が無かったと連絡がありました。 嬉しい悲鳴です。今日は最終日、もしお時間がございましたら、覗いてみてください
11:06 午後 - 16 3 19
さらにTweetを見る