新製品情報:『Jupiter XR』原子間力顕微鏡をリリース
2019年3月6日

 


新製品情報:『Jupiter XR』原子間力顕微鏡をリリース
「超高分解能 / 高速イメージング / 広域スキャン」に対応した
200mmステージ型SPM/AFM


2019年2月27日(米国カリフォルニア州サンタバーバラ)アサイラム・リサーチは大型サンプルに対応した200mmステージ型原子間力顕微鏡(SPM/AFM) 『Jupiter XR』を発表しました。スキャナを交換することなく単一スキャナで「超高分解能」「高速イメージング」「広域スキャン」に対応した業界初のAFMです。試料ステージは200mmサンプル全域へのアクセスを可能にし、Cypher AFMで培われた優れた操作性を踏襲しています。卓越した分解能と迅速なデータ取得,優れた操作性は、学術研究分野や産業R&D・分析分野などの幅広い用途への貢献が期待されます。この新しいコンセプトのプラットフォームは、20年にわたるアサイラム・リサーチの革新的なAFM技術が最大限に活かされており、市場のステージ型AFMを凌駕する性能を有しています。

(写真右上) ブレンドゴムタイヤ。ゴムコンパウンドとカーボンブラックの分散状態をBimodalイメージングで取得。
(写真右下) エピタキシャル・シリコンウェーハ(Rq ~80pm)。blueDriveで取得。


“弊社は市場から大型サンプル対応のAFMを長年にわたり嘱望されてきましたが、性能面や操作性などのあらゆる面において、市場の高い要求を凌駕するAFMを提供することができませんでした。”と、Roger Proksch, Ph.D. (President of Asylum Research)は述べています。“会社設立以来、弊社はAFM技術の限界に挑んできました。Jupiterは「低ノイズ位置決めセンサー」や、「Cypher AFMの驚くべき分解能とスキャン速度」、「新しいナノメカニカル測定技術」、「blueDrive™光熱励振」、といった多くのユニークなコア技術から誕生しました。これらの技術に加え、弊社のワールドクラスの製品信頼性とカスタマーサポートと共に、Jupiterが業界を先導する画期的なステージ型AFMになることを期待しています。”

Jupiter XRの特長としては、200mmフルアクセス可能で真空チャックを有した試料ステージや、光源・検出器のアライメントなどシステムセットアップのソフトウエア機能がシンプルで直感的であること、イメージングパラメータの自動最適化、多点におけるイメージ取得や解析の自動化、探針寿命や測定再現性を確保できるアサイラム・リサーチ独自のblueDriveによるタッピングモードが挙げられます。アサイラム・リサーチの多様な測定モードやアクセサリ、拡張性を考慮したモジュール設計により、Jupiterは世界で最も多用途なステージ型AFMになります。R&D分野をはじめ、高スループットが求められる産業用途、分析や故障解析ラボにおいて、異彩を放つ存在になるでしょう。Jupiterのような卓越した高分解能、優れた操作性、スキャン速度、多彩な測定モード、拡張性を備えたステージ型AFMは他には類を見ません。

【仕様】
・スキャナ: XYレンジ100μm,Zレンジ12μm,Closed-loop
・Height noise: <25pm
・blueDrive付属
・試料ステージ: φ210mm,最大試料高さ35mm,真空チャック・マグネット固定可能

Jupiter XRについて詳しくは下記URLをご参照下さい。
www.oxford-instruments.jp/Jupiter
 

ポリエチレン結晶ラメラ(Phase)

IGBT(KPFM)

二相鋼(MFM)


PE/PP/PSブレンドポリマー(AMFM粘弾性マッピング)

パルミチン酸ヘキサデシル(Height)


LIB用セパレータ。2Hz(左)と40Hz(右)でほとんど差の無いイメージを取得。



さらに詳しい情報については下記までお問い合わせください。

オックスフォード・インストゥルメンツ株式会社
アサイラム・リサーチ事業部
日本橋ラボ
〒103-0006 東京都中央区日本橋富沢町12-20 日本橋T&Dビル
Tel: +81 (0) 3 6630 4595
Fax: +81 (0) 3 6630 4594
Email: sales.asylum.jp@oxinst.com
URL:www.oxford-instruments.jp/AFM

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